Dans les environnements de salle blanche et de vide, même une contamination minimale — telle que des particules, des composés organiques volatils ou des molécules dégazantes — peut avoir des conséquences majeures sur le rendement, la fiabilité et la durée de vie des systèmes. C’est pourquoi la réussite ne dépend pas uniquement d’un environnement propre, mais surtout de processus maîtrisés et de fluides de process, produits de nettoyage, matériaux et lubrifiants adaptés.

Les applications en salle blanche et sous vide constituent une part importante des environnements de production dans les industries des semi-conducteurs, pharmaceutique, médicale et optique, l’aéronautique et le spatial, ainsi que dans l’industrie manufacturière haut de gamme. Mavom accompagne les clients de ces secteurs avec des solutions pour:

• l’usinage des métaux validé
• le nettoyage de précision 
• le choix de matériaux à faible dégazage
• les lubrifiants compatibles avec le vide

ASML GSA & Omneo : de l’exigence au processus démontrablement maîtrisé

Dans l’industrie des semi-conducteurs, ASML fait figure de référence en matière d’exigences de propreté vis-à-vis de ses fournisseurs. ASML utilise pour cela les directives GSA, pour Generic Standard of ASML. Actuellement, le niveau GSA Grade 2 Vacuum Cleanliness constitue la norme au sein de la chaîne d’approvisionnement d’ASML.

Le GSA Grade 2 exige un processus de production et de nettoyage contrôlé, dans lequel les exigences de propreté sont prises en compte dès l’usinage, puis lors du processus de nettoyage qui suit. L’objectif : garantir que toutes les pièces produites soient conformes et approuvées du premier coup. First time right.

Le GSA Grade 1 est plus strict que le Grade 2 et exige une maîtrise supplémentaire de la contamination — notamment la prévention des éléments pertinents pour le HIO, Hydrogen Induced Outgassing, présents à la surface ou liés à celle-ci. Cela peut être réalisé, par exemple, en combinant des étapes de nettoyage, telles que le dégraissage en phase vapeur avec une étape ultrasonique.

La certification Omneo comme garantie de maîtrise du processus

La certification Omneo vise principalement à garantir et à valider les processus appliqués dans les environnements de salle blanche et de vide. Les produits ne sont donc pas évalués isolément, mais toujours en lien avec le processus dont ils font partie. Lors de la certification, la propreté et la maîtrise du processus sont notamment vérifiées. Des tests spécifiques portent sur la contamination particulaire et moléculaire, ainsi que sur le comportement des matériaux sous conditions de vide.

Les paramètres de dégazage tels que Total Mass Loss (TML) et Collected Volatile Condensable Materials (CVCM) jouent ici un rôle central. Ce n’est que lorsque le processus complet, y compris les produits qui y sont utilisés, satisfait de manière démontrable aux exigences définies que son utilisation dans des applications high-tech critiques est autorisée.